Overlay 半導體
2008年8月29日—微影疊對(overlay)顧名思義就是層對層(layertolayer)。晶片製造過程中,製程整合等工程人員依據電路線寬等特性,將龐雜的電路走線區分為不同光罩層 ...,AUROSOverlay影像檢測機台OL100OL-100台灣...母公司FST,Ltd.創立於1987年,為韓國著名的的半導體...
疊對量測不確定度評估
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由於半導體製程關鍵尺寸(CriticalDimension)設計的逐年減小,利用傳統光學顯微.鏡判讀半導體...(Overlaymeasurement),TIS(ToolInduceShift),WIS(WaferInduce.
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